[13p-P7-1~17] 6.4 薄膜新材料

[13p-P7-15] 薄膜におけるパーフルオロアルキル系被覆面の撥水・防汚性能発現のメカニズム解析

〇坂本 典子¹、齋藤 崇¹、須藤 健二¹、堀江 幸弘¹、大場 点¹ (1.キヤノンオプトロン)

キーワード：撥水・防汚膜、官能基配向解析、深さ方向元素分布

近年、撥水・防汚膜の高性能化が望まれている。当社は、防汚膜を均一に作製可能な真空蒸着材料を開発した。接触角・転落角・耐摩耗性能を比較したところ、当社品は他試料に比較していずれも高性能であることを確認した。本研究では、このような高性能膜が得られるメカニズムを調査するために膜の分析を行った。得られた結果を、膜の深さ方向元素分布と各官能基の配向角度測定から報告する。