[13p-P7-1~17] 6.4 薄膜新材料

[13p-P7-2] ボロメータ型赤外線センサのためのニオブ・タングステンドープ酸化バナジウム膜の形成

北野 玲¹、加藤 拓也¹、渡邊 良祐¹、〇齋藤 洋司¹ (1.成蹊大院理工)

キーワード：ボロメータ、相転移、酸化バナジウム

本研究では、ボロメータ型赤外線センサの検知部に使用される二酸化バナジウム(VO₂)に不純物として、Taと性質が類似しヒステリシス低下が見込めるニオブ(Nb)と相転移温度を低下させるWを組み合わせドープして特性制御を試みる。