[14a-A23-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[14a-A23-1] (0001)ZnO基板上における巨大c/a比を有するBiFeO₃薄膜の成長

〇後田 敦史¹、小前 智也¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大院工)

キーワード：BiFeO3、巨大c/a、強誘電体／極性半導体ヘテロ構造

我々は強誘電体／極性半導体ヘテロ界面における自発分極による電界効果に着目しており、これまでに極性半導体であるZnO上に様々な強誘電体薄膜を成長させ、そのヘテロ構造の電気的特性を調べてきた。本講演では(0001)ZnO基板上への巨大c/a比を有するBiFeO₃薄膜の成長について報告する。