[14a-A26-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14a-A26-1] フィルタードパルスアーク蒸着法を用いたDLC膜の作製と分析

〇磯野 凌¹、針谷 達¹、飯島 佑史¹、今井 貴大¹、山野 将史¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、羽渕 仁恵² (1.豊橋技科大、2.岐阜高専)

キーワード：DLC、薄膜、アーク放電