[14a-A26-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[14a-A26-7] 各種DLC膜表面に対する酸素プラズマ処理効果の検討

河内 佑太¹、平塚 傑工²、坪井 仁美²、中森 秀樹²、本間 章彦¹、平栗 健二¹、〇大越 康晴¹ (1.電機大、2.ナノテック（株）)

キーワード：酸素プラズマ処理、ダイヤモンドライクカーボン、細胞親和性