[14a-A26-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

[14a-A26-8] プラズマ利用イオン注入法およびアークイオンプレーティング法で作製したダイヤモンド状炭素膜の比較

〇中尾 節男¹、山田 保誠¹、森口 秀樹² (1.産総研、2.日本ITF)

キーワード：ダイヤモンド状炭素、プラズマ利用イオン注入、アークイオンプレーティング

これまで、プラズマ利用イオン注入法を用いてダイヤモンド状炭素(DLC)膜を作成し、作製条件による微細構造の変化を調べてきた。今回は、アークイオンプレーティング法で作製したDLC膜との比較を行った結果について報告する。