[14a-A26-1~10] 6.2 カーボン系薄膜

△ [14a-A26-9] スパッタ法により作製したSi-DLCとTi-DLCのドーパント効果

〇石黒 菜々子¹、賈 軍軍¹、黒瀬 愛美²、待永 広宣²、重里 有三¹ (1.青学大理工、2.日東電工)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、スパッタ

ダイヤモンドライクカーボン(DLC)は他の物質を添加することにより、表面の摩擦係数・トライボロジー特性、酸バリヤ性やガスバリヤ性など様々な性質を制御することが知られている。本研究では、ドーパントとしてSiとTiをえらび同時スパッタ法によりSi-DLC、およびTi-DLCのsp³/sp²、膜密度、弾性率、トライボロジー等の解析を行った。