[14a-A32-1~7] 6.6 プローブ顕微鏡

△ [14a-A32-6] Au球形探針-Si試料間のカシミール力測定に関する研究

〇吉田 尚樹¹、東野 一彦¹、末岡 和久¹ (1.北大院情報科学)

キーワード：カシミール効果、原子間力顕微鏡、分子間相互作用力

周波数変調方式原子間力顕微鏡により取得した周波数シフトの距離依存性の結果からAu球形探針-Si試料間に働くカシミール力を算出した。超高真空中における加熱処理により単原子層レベルで平坦かつ清浄なSi表面が得られたことでカシミール力に対して静電気力が無視できる理想的な環境での測定が可能になった。以上の結果から、近距離において金属-半導体間のカシミール力の理論が適用可能であることが明らかになった。