11:45 〜 12:00
[14a-B12-11] イオンスパッタで形成したAlN薄膜の熱拡散率測定
キーワード:熱拡散率、AlN
シリコンナノワイヤ熱電発電デバイスの熱伝導層として利用するAlN薄膜の熱拡散率を,ACカロリメトリ法により測定した.AlN/SiO2/Si試料の熱拡散率は2.0x10-4m2/sであり,基板として使用したSiO2/Siの熱拡散率7.2x10-4m2/sより低い値となった.この測定結果における基板の影響について,詳細な解析を進めている.
一般セッション(口頭講演)
合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」 » 合同セッションM 「フォノンエンジニアリング」
11:45 〜 12:00
キーワード:熱拡散率、AlN