[14p-A22-1~8] プロセスプラズマ診断の最前線~大気圧、気液混合プラズマの理解と制御にむけて~

[14p-A22-1] プラズマプロセス診断法の現状と課題

〇佐々木 浩一¹ (1.北大工)

キーワード：プラズマ診断、大気圧プラズマ、液中プラズマ