[14p-A22-1~8] プロセスプラズマ診断の最前線~大気圧、気液混合プラズマの理解と制御にむけて~

[14p-A22-2] 大気圧プラズマの発光分光診断の課題

〇赤塚 洋¹ (1.東工大 研究院)

キーワード：発光分光計測、大気圧プラズマ

本講演では、大気圧非平衡プラズマの発光分光計測法として、(1)Stark効果による電子密度測定 (2)連続スペクトル解析による電子温度測定 (3)回転温度測定によるガス温度の近似測定 (4)線発光強度を原子分子過程に立脚して解釈する電子温度・密度診断の試みを紹介する。特に(4)項では、励起状態生成消滅モデル作成の困難さの一端を、数年前に筆者が取り組んだ非平衡大気圧Arプラズマを例に紹介する。