3:00 PM - 3:15 PM
[14p-A25-7] Approach to MCZ-Si Growth Technique with Rare-Earth Magnet
Keywords:Silicon, Magnet, Monocrystal
PV用Si単結晶の低酸素濃度化、無転位成長の歩留まり向上などの視点から、LSI結晶では必須となっているMCZ技術導入への要求が強まっている。今回、ランニングコストがほぼゼロの希土類永久磁石適用MCZ(RMCZ)技術[1]を検討した。1/4スケ-ルモデルの磁石装置を設計・試作し、磁界強度分布の実測値と計算値とを整合させた。次に実用RMCZ装置へ拡張計算し、磁石材料の必要量と価格を試算し、RMCZ技術のPV用CZ-Si製造への適用可能性を考察した。