[14p-B6-1~12] 7.5 イオンビーム一般

[14p-B6-6] 真空型帯電液滴およびクラスタービームによる二次イオン収率

〇二宮 啓¹、十河 真生²、宮山 卓也²、坂井 大輔²、渡邉 勝己²、チェン リーチュイン¹、平岡 賢三³ (1.山梨大総合、2.アルバック・ファイ、3.山梨大クリーン)

キーワード：帯電液滴、二次イオン質量分析、クラスターイオン

我々は帯電液滴ビームの実用性能を向上させるため、通常は大気圧下で行う水溶液のエレクトロスプレーを真空下で行ってそれをイオンビーム源として利用するための技術開発を進めている。今回は試作した真空型帯電液滴ビーム銃とこれまでのクラスタービーム銃によって生成される二次イオンを同型の質量分析計で測定することによって、その性能を直接的に比較する。