2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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シンポジウム(口頭講演)

シンポジウム » IV族半導体薄膜の結晶化と欠陥制御

[14p-B7-1~17] IV族半導体薄膜の結晶化と欠陥制御

2016年9月14日(水) 12:30 〜 19:15 B7 (展示ホール内)

松尾 直人(兵庫県立大)、東 清一郎(広島大)、宇佐美 徳隆(名大)、米永 一郎(東北大)

14:30 〜 14:45

[14p-B7-6] フレキシブルガラス基板上アモルファスシリコン膜の熱プラズマジェット結晶化

稗田 竜己1、新 良太1、花房 宏明1、東 清一郎1 (1.広大院先端研)

キーワード:結晶化