[14p-B7-1~17] IV族半導体薄膜の結晶化と欠陥制御

[14p-B7-7] アルミニウム誘起層交換成長法によるシリコン薄膜成長のカイネティクスと応用

〇宇佐美 徳隆¹ (1.名大院工)

キーワード：Al誘起層交換成長法

本講演では、低コスト大面積基板上へのwafer-equivalentなSi薄膜の成長法として期待が大きいAl誘起層交換成長法について、成長過程の「その場観察」を利用した成長カイネティクスに関する基礎検討や、得られたSi薄膜をテンプレートとしたBaSi₂薄膜の成長、固溶限界までAlがドーピングされる特性を利用した高濃度ドープ層としての応用などについて述べる。