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[14p-B7-7] アルミニウム誘起層交換成長法によるシリコン薄膜成長のカイネティクスと応用
キーワード:Al誘起層交換成長法
本講演では、低コスト大面積基板上へのwafer-equivalentなSi薄膜の成長法として期待が大きいAl誘起層交換成長法について、成長過程の「その場観察」を利用した成長カイネティクスに関する基礎検討や、得られたSi薄膜をテンプレートとしたBaSi2薄膜の成長、固溶限界までAlがドーピングされる特性を利用した高濃度ドープ層としての応用などについて述べる。