[14p-P11-1~6] 1.1 応用物理一般・学際領域

[14p-P11-6] GeO、Crなどの中間層の形成がPd/Geの表面状態に及ぼす効果

〇相沢 彰宏¹、松下 浩一¹、奥山 澄雄¹ (1.山形大院理工)

キーワード：接触角、パラジウム、水素ガス

Pd/Geダイオード型水素ガスセンサの感度の経時劣化抑制のため、GeO、Crなどを用い、それらの中間層の形成がPdの表面状態、すなわち接触角、およびPd/Geの界面状態、すなわちPd薄膜の剥離に及ぼす効果を検証した。中間層なしとGeOを用いた場合と比較して、Crを用いた場合、水素ガスセンサとして有用な水素ガス中での接触角の変化が見られ、センサとして問題となるPd薄膜のGe基板からの剥離が抑えられることが明らかとなった。