[14p-P15-1~2] 7.2 電子ビーム応用

[14p-P15-2] 電子ビーム照射による試料表面電位と電荷蓄積のシミュレーション

〇(M2)福澤 諒大¹、小寺 正敏¹ (1.大阪工業大学)

キーワード：帯電、電子ビーム、シミュレーション