[14p-P22-1~15] CS.4 9.4熱電変換，16.2エナジーハーベスティングのコードシェアセッション

[14p-P22-15] KFMを用いた局所温度測定

〇鈴木 悠平¹、岡 晃人¹、池田 浩也¹ (1.静大電研)

キーワード：KFM、シリコン、ゼーベック係数

Kelvin-probe force microscopy (KFM)を用いたナノ構造熱電材料に対する非接触・非破壊のゼーベック係数測定技術の構築を試みている．本研究では，バルクSiを用いて，ゼーベック係数の評価で必要となる局所的な温度差をKFMで測定される表面電位から算出する手法について検討する．