[14p-P4-1~5] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[14p-P4-4] スーパー接合構造を有するSBCDの集積化シミュレーション

〇(M2)對馬 広隆¹、工藤 嗣友²、菅原 文彦¹ (1.東北学院大工、2.神奈川工科大)

キーワード：自己バイアスチャネルダイオード、スーパー接合、集積化

著者らはスーパー接合構造を持つ自己バイアスチャネルダイオード(SBCD)を提案している。デバイスのセル構造の集積化によりオン電圧を低減しようとすると，耐圧が低下する。従って，耐圧を維持したままオン電圧を低減する構造について，シミュレーションにより検証した。