[15a-A23-1~10] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15a-A23-5] 長時間成長停止したCZ Si結晶(Ⅲ) -転位群のSRトポグラフィ-

〇松井 純爾¹、津坂 佳幸²、鶴丸 哲也²、阿部 孝夫³ (1.兵庫県大放射光ナノテクセンター、2.兵庫県大院物質理学、3.信越半導体)

キーワード：シリコン、転位、Ｘ線トポグラフィ

Siインゴット中の転位群(Dislocation Crowd)を多波回折条件下または等価格子面からの同時回折条件下の高分解能放射光Ｘ線トポグラフィで観察した結果、殆どの転位は引き上げ軸と45°の角度をなすb = a/2<110>型完全転位であることが判明した。