[15a-A26-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

[15a-A26-2] グラファイト状窒化炭素薄膜の光伝導の観測

〇羽渕 仁恵¹、青山 宏明¹、安田 和史¹、滝川 浩史² (1.岐阜高専、2.豊橋技科大)

キーワード：グラファイト状窒化炭素、光電流、半導体薄膜

グアニジン炭酸塩を原料とし蒸着によりグラファイト状窒化炭素薄膜を合成し、合成温度が異なる薄膜の光伝導を測定した。一定電圧を印加し単色光を照射したときの電流の増加分を入射光束で割ったものを光感度スペクトルとして求めた。スペクトルは2.7〜2.9eVで指数関数的に立ち上がり光吸収スペクトルの光学ギャップに対応している。光電流強度は基板温度の依存性はなく、試料表面の状態などの要因による影響を受けると考えられる。