[15a-A26-1~11] 6.2 カーボン系薄膜

△ [15a-A26-8] PVD-CVDハイブリッドプロセスによる窒素含有DLC膜の形成

〇飯島 佑史¹、今井 貴大¹、磯野 凌¹、針谷 達¹、須田 善行¹、滝川 浩史¹、神谷 雅男²、瀧 真³、長谷川 祐史³、辻 信広³、金子 智⁴、國次 真輔⁵、サム イック⁶、アヴィ ベンデイビッド⁶、フィル マーティン⁶、羽渕 仁恵⁷ (1.豊橋技科大、2.伊藤光学、3.オンワード技研、4.神奈川産技セ、5.岡山工技セ、6.オーストラリア科産研、7.岐阜高専)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン、プラズマ