[15a-A31-1~13] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15a-A31-3] TCO/Ag/TCO積層透明導電膜の高性能化の検討

〇中澤 弘実¹、石井 博¹、歳森 悠人¹、斎藤 淳¹ (1.三菱マテリアル(株))

キーワード：積層膜、透明導電酸化物、銀

タッチパネル用透明導電膜として適用が検討されているTCO/Ag/TCO積層膜について、10nm以下の膜厚でAgが連続となるTCOとAg合金の組み合わせや積層膜の構成を最適化する実験を行い、ZnO系のTCOと幾つかのAg合金の組み合わせで、電気的、光学的特性などが向上することを確認した。