[15a-A32-1~7] 6.6 プローブ顕微鏡

[15a-A32-7] 複数開口プローブを有する走査型イオン伝導顕微鏡を用いた帯電試料イメージング

〇白澤 樹¹、江口 由祐¹、水谷 祐輔²、牛木 辰男²、岩田 太^1,3 (1.静岡大工、2.新潟大医、3.静大電研)

キーワード：走査型イオン伝導顕微鏡、帯電試料