2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[15a-B10-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

2016年9月15日(木) 09:00 〜 12:15 B10 (展示控室1)

葉 文昌(島根大)、岡田 竜弥(琉球大)

10:00 〜 10:15

[15a-B10-5] 結晶性Geを用いたフレキシブル薄膜トランジスタの実証

東 英実1、中野 茉莉央1、工藤 康平1、藤田 裕一1、山田 晋也1、金島 岳1、角田 功2、中島 寛3、浜屋 宏平1 (1.阪大基礎工、2.熊本高専、3.九大産学連携センター)

キーワード:薄膜トランジスタ、ゲルマニウム、フレキシブルエレクトロニクス