[15a-B7-1~14] 8.1 プラズマ生成・制御

△ [15a-B7-1] 改良型導波管構造によるマイクロ波励起純窒素大気圧ラインプラズマの生成

〇鈴木 陽香¹、田村 宥人¹、伊藤 仁^1,2、関根 誠¹、堀 勝¹、豊田 浩孝¹ (1.名大、2.東京エレクトロン)

キーワード：大気圧プラズマ、マイクロ波、分子ガスプラズマ

近年、大気圧プラズマを大面積表面処理技術へ応用する研究に注目が集まっている。我々はこれまでに、長尺かつ高密度の大気圧プラズマ生成を目指し、進行波のみによる電磁界を導波管内に形成する技術を開発し、ヘリウム放電による線均一ラインプラズマを生成することに成功した。本研究では、分子ガス環境において長尺ラインプラズマ生成を易化することを目的とし、導波管構造の改良により純窒素ラインプラズマ生成を試みた。