[15a-C302-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[15a-C302-8] 三フッ化塩素ガスによる炭化珪素薄膜形成装置クリーニング方法開発-熱分解炭素被膜の三フッ化塩素ガス耐腐食性調査-

〇塩田 耕平¹、羽深 等¹、伊藤 英樹²、三谷 慎一³、高橋 至直³ (1.横国大院工、2.ニューフレアテクノロジー、3.関東電化工業)

キーワード：SiCエピタキシャルリアクタ、クリーニング、三フッ化塩素

炭化珪素(SiC)エピタキシャルウエハを化学気相堆積(CVD)法を用いて作製する装置をクリーニングの際にはClF₃ガスがサセプタを腐食する可能性があるので、それを防ぐための物質を探索する必要がある。そこで、試料台の被膜材料として熱分解炭素を用いて耐腐食性を調査したところ、480℃までClF₃ガスに耐腐食性を有することを確認したので、本報で詳細を報告する。