[15a-D63-1~8] 11.1 基礎物性

[15a-D63-3] 高温超伝導体を用いたテラヘルツ波発振素子のウェットエッチング法による作製

〇小守 優貴¹、柴野 雄紀¹、南 英俊¹、渡邊 千春¹、桂川 拓也¹、久保 裕之¹、坂本 和輝¹、田中 大河¹、湯浅 拓実¹、中村 健人¹、太田 隆晟¹、桑野 玄気¹、田邊 祐希¹、柏木 隆成¹、辻本 学¹、門脇 和男¹ (1.筑波大数理物質)

キーワード：THz、ジョセフソン効果、高温超伝導体

高温超伝導体Bi2212をメサ状に加工しc軸方向に直流電圧を印加することによって、テラヘルツ帯域の電磁波を発生させることができる。排熱性を高めた単独メサの作製にはこれまでFIBあるいは金属マスクを用いるドライエッチングが用いられてきた。本研究では加工の自由度の高いフォトリソグラフィー、ウェットエッチングを用いて単独メサを作製しテラヘルツ波発振の観測に成功した。本公演では発振の結果について詳細を述べ、議論する。