[15a-P3-1~13] 3.7 レーザープロセシング

[15a-P3-4] ナノ秒レーザー干渉パターニングによる酸化亜鉛マイクロドットアレイの作製

〇中村 大輔¹、高尾 修平¹、東畠 三洋¹、池上 浩¹、岡田 龍雄¹ (1.九大シス情)

キーワード：ZnO、レーザー干渉パターニング、マイクロドット

ZnO薄膜に対して４光束レーザー干渉光を照射することでZnOマイクロドットアレイを作製し，サブミクロンドロップレットからの光励起レーザー発振を得た．