[15a-P5-1~14] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[15a-P5-9] 薄膜光導波路付シリコンカンチレバーによる2波長近接場計測

〇張 開鋒¹、立崎 武弘²、山川 市朗¹、谷口 伸一¹ (1.(株)日立製作所 研開、2.東海大工)

キーワード：走査近接場光顕微鏡、近接場、カンチレバー