[15p-A41-1~17] 12.5 有機太陽電池

[15p-A41-13] ペロブスカイト/Siタンデム型太陽電池のコンビナトリアルデバイスプロセス：
新奇な薄膜物性その場診断手法

〇松木 伸行¹、川嶋 一裕²、伊髙 健治³、岡本 裕二⁴、鈴木 義和⁴、佐藤 知正¹、鯉沼 秀臣^2,4,5 (1.神奈川大工、2.（株）コメット、3.弘前大、4.筑波大、5.物材機構)

キーワード：ペロブスカイト/Siタンデム型太陽電池、コンビナトリアルデバイスプロセス、その場診断

有機無機ハイブリッドペロブスカイト（ペロブスカイト）薄膜と結晶Siによる高効率タンデム型太陽電池の開発には、材料組成、プロセス条件や多層構造からデバイス構造に至るまでの最適化を伴う膨大な実験量が想定される。実験の効率化と再現性の大幅な向上を実現させる手段として、コンビナトリアル手法の導入が有効であり、新たなデバイスプロセス装置の構築を計画している。コンビナトリアルデバイスプロセスにおいては、膜厚や組成などのその場診断によるフィードバック制御が重要となる。本研究では薄膜の構造や製膜条件の制約を受けない分光エリプソメトリー（SE)を診断プローブとして導入することを提案し、さらに水晶振動子膜厚モニターを併用することによって、SE測定データから堆積薄膜の物性値をその場診断する手法について考察する。