[15p-B3-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[15p-B3-1] 真空蒸着法により作製したBaSi₂/SUS304 の断面評価

〇須原 貴道¹、青柳 健太¹、原 康祐²、末益 崇³、宇佐美 徳隆¹ (1.名古屋大、2.山梨大、3.筑波大)

キーワード：バリウムシリサイド、真空蒸着、界面分析