[15p-B5-1~19] 7.2 電子ビーム応用

[15p-B5-15] エックス線照射下におけるフィールドエミッタアレイの電子放出特性

〇後藤 康仁¹、辻 博司¹、長尾 昌善²、秋吉 優史³、高木 郁二¹ (1.京大、2.産総研、3.大阪府大)

キーワード：フィールドエミッタアレイ、電子放出特性、エックス線照射

エックス線照射下においてフィールドエミッタアレイの電子放出特性の変化を観測した。MeVのエネルギーを持つ電子線をタングステン板に入射させることにより高エネルギーのエックス線を生成した。エックス線照射下でフィールドエミッタアレイの電流電圧特性を測定した結果、低い線量率で照射した場合には照射しない場合との違いは見られなかったが、高い線量率で照射した場合にはアノード電流の低下がみられた。この原因は接地していない電極や絶縁体の帯電によるものと考えている。