[15p-D61-1~14] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

△ [15p-D61-6] NbTiN薄膜によるナノ構造トランジスタの作製

〇鈴木 雅斗¹、田中 雅光¹、赤池 宏之¹、藤巻 朗¹ (1.名古屋大学工)

キーワード：ナノクライオトロン、超伝導