[15p-D61-1~14] 11.5 接合，回路作製プロセスおよびデジタル応用

△ [15p-D61-9] ダブルゲートプロセスを用いたダブルアクティブレイヤAQFP回路の動作実証

〇安藤 拓生¹、辻 直樹¹、知名 史博¹、竹内 尚輝^2,3、永沢 秀一⁴、日高 睦夫⁴、山梨 裕希^1,2、吉川 信行^1,2 (1.横国大院工、2.横国大IAS、3.JSTさきがけ、4.産総研)

キーワード：超伝導集積回路、磁束量子パラメトロン

我々は、超低消費電力で演算が可能なAQFP回路を研究している。ダブルゲートプロセスは、Nb 7層構造、2つの接合層を持つことが特徴であり、上側4層と下側4層を使って上下にAQFP回路をそれぞれ実装することができる。上下のセルを重ねて配置することによる集積度の向上が可能である。今回我々は、ダブルゲートプロセスを用いたダブルアクティブレイヤAQFP回路を設計し、動作実証を行った。