[15p-P2-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-P2-5] 反応性スパッタ法で作製したアモルファス窒化炭素薄膜の化学結合状態と光エネルギー変換

〇青野 祐美¹、原田 人萌¹、宮崎 尚¹、阿部 洋¹、石井 信伍²、佐藤 庸平²、寺内 正己² (1.防衛大材料、2.東北大多元研)

キーワード：アモルファス窒化炭素、スパッタリング、化学結合状態

アモルファス窒化炭素a-CN_xは、光学バンドギャップが可視光領域にあり、光電効果および光誘起変形が見られる材料である。これらの可視光に対する応答の違いは、結合状態によって決定されているものと思われるが、光エネルギー変換への結合状態の寄与は未解明の部分が多い。そこで本研究では、XPS、SXES、EELSの各分光法を用いて、化学結合状態と光電効果、光誘起変形の関係を調べた。