[15p-P2-1~15] 6.2 カーボン系薄膜

[15p-P2-7] 荷電交換用カーボンフォイル蒸着のためのプラズマ源開発

〇金森 圭太¹、吉本 政弘²、金正 倫計²、粕谷 俊郎¹、和田 元¹ (1.同志社大学、2.原子力研究開発機構)

キーワード：ダイヤモンド、ECRプラズマ、スパッタリング