[15p-P7-1~2] 8.4 プラズマエッチング

[15p-P7-1] AlGaN表面特性への酸素プラズマ照射効果

〇新部 正人¹、川上 烈生²、中野 由崇³、田中 良¹、荒木 佑馬¹、東 知里²、向井 孝志⁴ (1.兵庫県大高度研、2.徳島大院理工、3.中部大工、4.日亜化学)

キーワード：酸素プラズマ、ダメージ、AlGaN