[16a-A24-1~12] 16.3 シリコン系太陽電池

[16a-A24-8] 遷移金属酸化物／SiO₂／結晶Siヘテロ接合コンタクト界面における仕事関数

〇(PC)神岡 武文¹、林 豊¹、磯貝 勇樹¹、中村 京太郎²、大下 祥雄¹ (1.豊田工大、2.明治大)

キーワード：太陽電池、ヘテロ接合、仕事関数

アモルファスSiやトンネル酸化膜を用いたpassivated contactセルでは、電極仕事関数がセル性能に与える影響が非常に大きい。実デバイスで重要なのはバルクでの仕事関数値ではなく、コンタクト界面における値である。本研究ではMoO_xを例として遷移金属酸化物／SiO₂／Si型のヘテロ接合コンタクト界面における電極仕事関数を、MOSキャパシタ素子のC-V特性の観点から調べた結果を報告する。