[16a-B3-1~6] 6.5 表面物理・真空

[16a-B3-2] RHEEDによる極性表面の識別

〇堀尾 吉已¹、柚原 淳司²、安部 功二³、高桑 雄二⁴、小川 修一⁴ (1.大同大工、2.名大院工、3.名工大院工、4.東北大多元研)

キーワード：高速電子回折、極性表面、ロッキング曲線

二元結晶表面の極性を識別することはデバイス技術にとって重要である。ここではRHEED法で極性識別が可能かをZnO(0001)面に対して調べた。極性の違いにより実験ロッキング曲線は明らかに異なることが確認され、それは極性識別の可能性を示唆した。表面緩和構造を想定した計算ロッキング曲線は実験結果を理想的表面構造よりもよく説明できることがわかった。