[16a-B5-1~13] 12.1 Fabrications and Structure Controls

△ [16a-B5-1] Preparation and characterization of functional thin films on the atomically stepped polymer substrates

〇Kodai Shimada¹, Taichiro Kinoshita¹, Risa Goto¹, Tatsuhiro Urakami², Koji Koyama³, Masahiro Mita⁴, Satoru Kaneko^5,1, Akifumi Matsuda¹, Mamoru Yoshimoto¹ (1.Tokyo Inst. of Tech, 2.Mitsui Chemicals, Inc., 3.Namiki Precision Jewel Co., Ltd., 4.KYODO INTERNATIONAL, INC., 5.Kanagawa Ind. Tech. Cent.)

Keywords:Thermal-nanoimprint, functional thin film, atomic step pattern

独自製作の原子ステップポリイミド(PI)基板表面の単原子スケールパターンが機能性薄膜の原子レベル形状および結晶成長に与える影響について検討した。
まず熱ナノインプリント法により、単原子ステップサファイアをモールドとして、超平坦原子ステップPI基板を作製した。続いて、その上にPLD法によりZnO薄膜およびITO薄膜を成長させた。堆積した薄膜はPI基板の原子ステップ形状を反映し高い平坦性をもち、結晶化していることを確認した。