[16a-C42-1~11] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

△ [16a-C42-9] Improvement of stability of flow-rate control in Multi-Gas Trace Moisture Generator

〇MINAMI AMANO¹, Hisashi Abe¹ (1.NMIJ/AIST)

Keywords:semiconductor, trace moisture, standard

様々な半導体材料ガスに対する微量水分標準の確立を目指し、「多種ガス用微量水分発生装置」を開発している。本装置では、発生槽内で発生させた100 ppmのガス中水分から目標水分濃度(最小10 ppb)を得るために、乾燥ガスによる2段階希釈を行う。ここでは相対値10⁻³〜10⁻⁴ ％オーダーという非常に高精度な流量制御が要求される。音速ノズル式流量計によるガス流量の安定性評価、および室温変動が流量制御に与える影響について発表する。