[16a-P5-1~32] 15.4 III-V族窒化物結晶

[16a-P5-28] 低酸素GaNスパッタリングターゲットを用いた高結晶性GaN膜の作製

〇召田 雅実¹、倉持 豪人¹、高橋 言諸²、清水 三聡² (1.東ソー、2.産総研)

キーワード：窒化ガリウム、スパッタ