[16p-A22-1~6] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[16p-A22-3] c面サファイア基板上アモルファスCuCrO₂薄膜の固相成長

〇保坂 直寿¹、千葉 博^1,2、川島 知之¹、鷲尾 勝由¹ (1.東北大院工、2.学振特別研究員)

キーワード：デラフォサイト、固相成長、RFマグネトロンスパッタ