[16p-A24-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [16p-A24-11] Cu配線を用いたシリコン太陽電池における作製プロセスの最適化

〇(M1)青山 悠生¹、安藤 大輔¹、須藤 祐司¹、小池 淳一¹ (1.東北大院工)

キーワード：太陽電池、Cu配線

近年、再生可能エネルギーへの期待が高まり、太陽電池コストの低減と変換効率の向上が求められている。現状のSi系太陽電池の集電電極にはAgが用いられており、より安価なCuへの転換が求められている。しかし、Cuで配線を形成するためにはSiN層の除去が必要であり、除去工程に伴う特性劣化が懸念される。本研究では、Cu配線を用いた太陽電池を工程条件を変えて作製し、特性劣化の原因と作製条件の最適化について考察した。