[16p-A24-1~11] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [16p-A24-5] MWT型セル用単結晶シリコンウェハのレーザ穴明け加工

〇小林 翼¹、小野 裕道¹、三瓶 義之¹、大野 仁嗣²、高島 康文³、渋川 達弘⁴、池田 正則⁵、望月 敏光⁶、木田 康博⁶、白澤 勝彦⁶、高遠 秀尚⁶ (1.福島県ハイテクプラザ、2.(株)横浜石英、3.東成イービー東北(株)、4.(株)東北電子、5.日本大学工学部、6.（国研）産総研福島再生可能エネルギー研究所)

キーワード：メタルラップスルー