[16p-B7-1~13] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[16p-B7-11] プラズマインジケータ^TMを用いたラジカル・イオン挙動の解析

〇菱川 敬太¹、山川 裕¹、竹岡 拓昭¹、中村 慶子¹、釆山 和弘¹ (1.㈱サクラクレパス)

キーワード：プラズマインジケータ、ラジカル、プローブ