13:15 〜 13:30 [22p-S222-4] 高感度a-InGaZnO TFT pHセンサのVgs応答特性 〇竹知 和重1、田邉 浩1、岩松 新之輔2、今野 俊介2、矢作 徹2、阿部 泰2、加藤 睦人2 (1.NLTテクノロジー、2.山形県工技セ)