16:15 〜 16:30 [20p-H112-12] TLZ法を利用した均一組成バルクSiGe結晶(2)移動度評価 〇前田 辰郎1、服部 浩之1、Chang Wen Hsin1、木下 恭一2、荒井 康智2 (1.産業技術総合研究所、2.宇宙航空研究開発機構)